压电陶瓷进行调整纳米级分辨率

      在无法接近的位置上进行调整的能力得到了大大简化，甚至比这还要简单，因为基于压电陶瓷的垫片可以承载重达几顿的负载。需要时，有源垫片还能与传统压电陶瓷促动器组合，用于动态振动补偿等。典型应用包括在测量或扫描过程中重新调整焦平面以及在测量技术或材料加工中控制激光束等。找到了这一问题的解决方案，开发出了压电陶瓷“垫片”。当它们被安装在机器中后，有源垫片不仅可以随时重新调整两个部件之间的间隙，还能达到纳米级精度。

      具有纳米级分辨率和长期稳定性的有源垫片：用基于压电陶瓷的“垫片”进行调整，基于压电陶瓷的垫片在机器制造时被嵌入机器中；提供用于这一调整过程的易用电源以及匹配控制。如果精密机器内部两个部件之间的目标或实际尺寸发生了改变，例如在半导体制造、测量应用或检验系统中，重新调整也许就有必要了。例如，当机器在客户场地被启动时，初始设定、漂移或公差变化需要在安装后进行补偿。
      精确研磨至所需尺寸的传统垫片的缺点是它们需要进行机械插入。此外，不受限制的精调有时并不可能，且一旦尺寸确定下来，后续就很难再改。它们的供应方式与同一制造商生产的其他压电陶瓷促动器完全相同，可提供几乎任意形状和尺寸。促动器处的静态间隙可通过施加电压来设定。调整后，所需位置在断电后保持稳定，因此电源连接可以断开。标准产品的顶大位移为35微米；但有源垫片的巧妙组合可实现在多达六轴上进行调整。