压电陶瓷驱动微位移定位技术的应用

微位移定位技术已广泛应用于精密加工，微电子，生物工程和医学等各个领域。 如用于电化学加工，微雕刻; 用于MEMS的加工和组装; 在扫描探针显微镜中，用于测量样品的表面形貌等。     在精密加工，微电子，生物工程，医学等领域，微位移定位技术得到了广泛的应用。 如用于电化学加工，微雕刻; 用于MEMS的加工和组装; 在扫描探针显微镜中，用于测量样品的表面形貌等。  

  这些领域的发展对微位移定位技术提出了高分辨率，高精度，高频响应等要求。 明天的核心微位移定位系统采用直接驱动或机构放大设计原理。 采用内部高可靠性压电陶瓷作为驱动源，无摩擦，空背的柔性铰链导向机构支撑传动，分辨率高，响应快。 它没有机械摩擦和磁场干扰等特性，已广泛应用于这些领域。  

<<芯明天压电陶瓷和柔性铰链  

核心明天压电堆叠陶瓷具有优异的性能和较长的使用寿命，将各种尺寸和位移集成到微位移定位系统中，以满足不同应用的需求。 柔性铰链机构结构紧凑，无摩擦，适用于高分辨率，高频响应的超高精度微位移定位系统。  

“芯明明微位移定位系统  

压电纳米定位台  

核心明天压电纳米定位表可以实现在X，Z，XY，XZ，XYZ方向的精确运动，运动范围可达375μm，分辨率可达0.1nm。 中央通孔版本适用于诸如透光精密光学器件的定位和调整，生物显微镜和光学显微镜成像等系统。  

压电物镜定位器   压电物镜定位器专门设计用于物镜的聚焦显微镜。 物镜补偿量小，聚焦稳定性高。 将物镜定位器加载到显微镜检测/测量中，或者观察装置可以驱动镜头聚焦并提高精度。 它可以与各种高分辨率显微镜一起使用。  

压电偏转台/偏转镜   压电偏转台/偏转镜系列通过压电陶瓷驱动精确地成角度。 内部柔性铰链结构设计确保亚微辐射分辨率和微弧定位精度。 它是激光束扫描和激光束组合。 光路调整的好选择。  

压电控制器  

核心明天压电控制器通过模拟输入或数字输入控制，具有功率放大功能，并可调节输出电压和输出频率，以控制压电运动产品的速度和幅度。 根据结构，它主要分为模块化，集成化，工业化和小体积化。 提供各种控制方法和通道编号。