压电陶瓷的基本制造技术
制造单层压电元件的基本技术是使用喷雾干燥的颗粒材料压制成型体。这是通过使用高达1 MN压缩力的高容量压力机实现的。考虑到烧结收缩,或者加工过量,成型体要么是真实尺寸的,要么在烧结后除去,以达到所需的精度。通过使用高产量的内侧锯切设备,可以制造非常薄的压电元件(盘、板、管等)。
单层压电陶瓷元件是只有一层压电陶瓷组成的产品,其中导电金属电极施加到两个相对侧。这些电极在材料极化期间使用(如磁性材料中那样对准电偶极子),并且还用作在使用期间施加电场的电触点。单层压电陶瓷元件是通过常规工艺将压电陶瓷粉末进行压制而成,如单轴压制、等静压和挤压。
虽然单层和多层压电陶瓷元件的制造工艺有共同之处,但它们却截然不同。单层压电陶瓷元件由一层压电陶瓷材料制成,成形压力高达1 MN。多层压电元件通过浇铸非常薄的压电陶瓷材料层制成,在该薄层上印刷薄的电极材料层,然后层压超过100层。
单层和多层压电陶瓷元件的制造工艺有共同之处,但它们却截然不同。单层压电陶瓷元件由一层压电陶瓷材料制成,成形压力高达1 MN。多层压电元件通过浇铸非常薄的压电陶瓷材料层制成,在该薄层上印刷薄的电极材料层,然后层压超过100层。