压电陶瓷进行调整纳米级分辨率
在无法接近的位置上进行调整的能力得到了大大简化，甚至比这还要简单，因为基于压电陶瓷的垫片可以承载重达几顿的负载。需要时，有源垫片还能与传统压电陶瓷促动器组合，用于动态振动补偿等。典型应用包括在测量或扫描过程中重新调整焦平面以及在测量技术或材料加工中控制激光束等。找到了这一问题的解决方案，开发出了压电陶瓷“垫片”。当它们被安装在机器中后，有源垫片不仅可以随时重新调整两个部件之间的间隙，还能达到纳米级精度。
具有纳米级分辨率和长期稳定性的有源垫片：用基于压电陶瓷的“垫片”进行调整，基于压电陶瓷的垫片在机器制造时被嵌入机器中；提供用于这一调整过程的易用电源以及匹配控制。如果精密机器内部两个部件之间的目标或实际尺寸发生了改变，例如在半导体制造、测量应用或检验系统中，重新调整也许就有必要了。例如，当机器在客户场地被启动时，初始设定、漂移或公差变化需要在安装后进行补偿。
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