压电陶瓷晶片的制作工艺

压电陶瓷晶片的制作工艺包括配料、预处理、预烧、造粒、成型、烧成、机加工、上电极、极化和老化等多个步骤。

1、配料：原料是制备压电陶瓷的基础，对于PZT（锆钛酸铅）而言，主要原料包括Pb3O4、ZrO2、TiO2等。选择原料时需注意其化学组成和物理状态，纯度要求适度，因为高纯度原料价格昂贵且烧结温度高，而纯度稍低的原料中的杂质可起到矿化和助熔的作用，降低烧结温度。

2、预处理：原料经过预处理后，可以提高混合均匀性和反应活性。

3、预烧：在高温下将原料进行预烧，以形成初步的化学反应。

4、造粒：将预烧后的粉末进行造粒，便于后续成型。

5、成型：通过轧膜、挤膜、流延等方式将粉末成型为所需形状。

6、烧成：在高温下使成型体进行固相反应，形成压电陶瓷。

7、机加工：对烧成的陶瓷体进行机械加工，以满足尺寸和形状要求。

8、上电极：在陶瓷体上涂覆电极材料，用于施加电场。