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压电陶瓷的电极加工与极化处理
烧结后的陶瓷需被覆电极以实现电学连接:
1、丝网印刷:将银浆或铜浆通过网版印刷在表面,经800°C烧渗形成电极。
2、磁控溅射:真空环境下沉积金或铂薄膜电极,厚度仅微米级,适合高频器件。
极化是将无序电畴定向排列的过程:在100150°C温度下施加24kV/mm直流电场,维持1030分钟。此过程中,陶瓷的压电性能可提升35倍。极化参数需根据材料居里温度(如PZT的约350°C)准确调控。