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压电陶瓷晶片的特殊应用注意事项
1.高频应用(>1MHz)
需采用厚度极化模式,晶片厚度t与波长λ的关系应满足t=λ/2。例如10MHz应用需选用厚度0.2mm的薄片,平面度要求≤0.5μm,电极宜采用磁控溅射金层(厚度≥0.1μm)。
2.大功率驱动
动态发热量按Q=2πf·C·V²·tanδ计算,其中tanδ≤0.01。连续工作时表面温升应控制在30K以内,可通过红外热像仪(如FLIRA655sc)实时监测。